Γενικά
Νανοτεχνολογία
Διδάσκων : Ελευθέριος Σκούρας
Περιγραφή : Το μάθημα της Νανοτεχνολογίας αποσκοπεί στην παρουσίαση και κατανόηση των κύριων λιθογραφικών τεχνικών και κατασκευαστικών μεθόδων των τεχνολογιών αιχμής της Μικροηλεκτρονικής και της Νανοηλεκτρονικής. Τα κύρια βήματα κατασκευής ηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων παρουσιάζονται με λεπτομερή σχεδιαγράμματα. Ιδιαίτερη έμφαση δίδεται στις κατασκευές ηλιακών κυττάρων και τρανζίστορς υψηλών συχνοτήτων.
Μαθησιακοί στόχοι μαθήματος : Η εισαγωγή των φοιτητών στις σύγχρονες μεθόδους κατασκευής ηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων της Μικρο-ηλεκτρονικής και της Νανο-ηλεκτρονικής. Λεπτομερής αναφορά στις διεργασίες κατασκευής δημοφιλών ηλεκτρονικών διατάξεων όπως τα τρανζίστορς υψηλών συχνοτήτων και τα ηλιακά κύτταρα.
Λέξεις κλειδιά : Νανοηλεκτρονική, Συναρμολογούμενοι καθαροί εργαστηριακοί θάλαμοι, Βαθμός καθαρότητας εργαστηριακών θαλάμων, Οπτική Λιθογραφία, Λιθογραφία Δέσμης Ηλεκτρονίων, Λιθογραφία Νανοεκτύπωσης, X-ray LIGA, Εναπόθεση Μεταλλικών Υμενίων, Υγρή Χημική Εγχάραξη.